高純氣體雜質(zhì)分析儀介紹:

脈沖放電氦離子檢測(cè)器(PDD)是一款具有超高靈敏度的檢測(cè)器，其檢測(cè)限比 傳統(tǒng)的 FID 檢測(cè)器高一個(gè)數(shù)量級(jí)，而且，該檢測(cè)器是一款通用性的檢測(cè)器，對(duì) 所有的物質(zhì)均具有較高的靈敏度，因此，該檢測(cè)器常用于高純氣體的分析，其檢 測(cè)限能達(dá)到 PPB 級(jí)別。

氧化鋯檢測(cè)器是一個(gè)選擇性的檢測(cè)器，主要能檢測(cè)樣品中具有氧化還原的物 質(zhì)，比如O2等。在高純氬中，由于大量的氬氣導(dǎo)致O2和氬氣不能分離，因而用 PDD檢測(cè)器很難對(duì)O2進(jìn)行檢測(cè)，但可以通過選擇性的氧化鋯檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

本方案中，我們通過一套多閥系統(tǒng)對(duì)高純氣體進(jìn)樣進(jìn)樣操作，并通過中心切 割，反吹等閥切換技術(shù)，完成高純氬，高純氮等高純氣體的分析。

本系統(tǒng)中，所有的閥的切換均通過程序設(shè)置切換時(shí)間，有儀器自動(dòng)控制，具 體的分析氣路圖請(qǐng)咨詢相關(guān)銷售人員。

高純氣體雜質(zhì)分析儀圖解:

                  圖為：高純氮中雜質(zhì)分析色譜圖

圖為：高純氬中氣體雜 PDD 分析色譜圖